LBT-275
  • ストローク:50~500(50mm毎)(mm)
  • 位置決め精度:±0.15~±10(N)
  • 繰り返し位置決め精度:±0.1~±1(um)
  • 定格推力:139(N)
  • 最大推力(mm):695(N)
  • 標準ストローク:50~500(mm)
  • 最高速度:2(mm/s)
  • 真直度/平面度:±1.5/±3(um)
  • エンコーダ分解能:1~0.05(um)
  • 可搬重量:50(kg)
  • エア消耗量:<35(L/min)