エアベアリングステージ、高精度鉄製リニアステージのことならお任せください。
エアベアリングステージ
LBT-275
- ストローク：50~500(50mm毎)（mm）
- 位置決め精度：±0.15~±10（N）
- 繰り返し位置決め精度：±0.1~±1（um）
- 定格推力：139（N）
- 最大推力（mm）：695（N）
- 標準ストローク：50~500（mm）
- 最高速度：2（mm/s）
- 真直度/平面度：±1.5/±3（um）
- エンコーダ分解能：1~0.05（um）
- 可搬重量：50（kg）
- エア消耗量：＜35（L/min）
LXY
- ストローク：±150（mm）
- 位置決め精度：±0.3（N）
- 繰り返し位置決め精度：150（N）
- 定格推力：579（N）
- 最大推力（mm）：695（N）
- 標準ストローク：50~500（mm）
- 真直度/平面度：±1.5/±3（um）
- エンコーダ分解能：1~0.05（um）
- 可搬重量：10（kg）
