LXY
  • ストローク:±150(mm)
  • 位置決め精度:±0.3(N)
  • 繰り返し位置決め精度:150(N)
  • 定格推力:579(N)
  • 最大推力(mm):695(N)
  • 標準ストローク:50~500(mm)
  • 真直度/平面度:±1.5/±3(um)
  • エンコーダ分解能:1~0.05(um)
  • 可搬重量:10(kg)