リニアモータ、単軸ロボット、卓上ロボットなどの電動アクチュエータのことならお任せください。
カスタム、OEM対応も致しております。

エアベアリングステージ

エアベアリングステージLBTシリーズ
Class1クリーンルーム対応。ストロークは50mm~500㎜。エンコーダは用途により1um~0.05umまで選択可能。真直度、平面度は0.5um/300mm。ピッチング、ヨーイングは±2arc sec
コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能

高精度鉄製リニアステージ

半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介。標準化により低コスト、短納期を実現しております。XYステージのラインナップもございます。

リニアモータ

従来のボールねじを使用した製品と比べ長寿命、高速、高精度、ロングストロークでの運転が行えます。また、メーカー自社工場にて部品加工から組み立てを一貫して行うことにより低コスト、短納期を実現。特にコストにおいてはボールねじを使用した製品と同等の価格となっており、従来ボールねじを使用していた生産ラインの更新に最適です。

単軸ロボット

クローズドループ方式ステッピングモータドライバ付きの単軸ロボット(CGシリーズ)と、サーボモータ仕様(DGシリーズ)をラインナップしております。繰り返し精度±0.01mm、標準ストロークは50~800mm(50mmピッチ)、最高速度は約1100mm/sに対応。モータレスタイプもございます。

卓上ロボット

3軸タイプ卓上型ロボット。コンパクトな卓上型としてワークスペースを柔軟にレイアウトできます。特徴として、最高速度850mm/s、繰り返し精度±10μm。CAD図(DXF)からポイントを取得しルート編集が可能。

電動グリッパ

ストローク11mm~80mm、把持力0.72N~124Nまで、ワークに合わせて選べる電動グリッパをラインナップしております。把持力と開閉速度を設定でき、繰り返し精度は最高±0.01mm。TM Robotとのプラグアンドプレイに対応し、簡単に導入いただけます。

アクチュエータ

単軸ロボットをX・Y・Zの3軸に組み合わせた直交ロボットもラインナップしております。構成例ではX軸ストローク最大3500mm、最高速度2000mm/sを実現。軸の組み合わせやストロークなど、用途に合わせた仕様をお気軽にご相談ください。

その他

サーボドライバ(XC-100)やステッピングモータドライバ(TC-100)など、アクチュエータの駆動に必要な機器を取り揃えております。DC24V駆動、ABS/INC/トルクの各動作モード、RS485通信に対応。短ストロークの製品もラインナップしております。